Opopo Magnetron sputtering eto
Opopo magnetron sputtering ti a bo ẹrọ jẹ o kun DC (tabi MF) magnetron sputtering bo le ti wa ni fara si kan jakejado ibiti o ti afojusun, gẹgẹ bi awọn: Ejò, titanium, chromium, alagbara, irin, nickel ati awọn miiran irin ohun elo ti o le wa ni ti a bo nipa lilo a sputtering ilana. le mu dara film adhesion, reproducibility, iwuwo, uniformity ati awọn miiran abuda.
- a.Awọn ipilẹ abuda ati paramita
- b.petele ila be le ti wa ni mo daju ni nigbakannaa ti a bo lori ọkan ẹgbẹ
- c.ṣiṣe iṣelọpọ, awọn iyara ti o yara ju to iṣẹju 1 / lilu
- d.apọjuwọn oniru, rorun itọju
- e.plating ilana ìbàlágà, ga ikore
- f.DC magnetron sputtering cathodes le yatọ da lori onibara awọn ibeere
- g.Eto igbale ni fifa ẹrọ ẹrọ, Awọn ifasoke gbongbo, awọn ifasoke kaakiri (fifun molikula) Tiwqn
- h.Iwọn ara laini le yatọ si da lori awọn ibeere alabara
- 1) Awọn ohun elo ara ti iyẹwu igbale ti a lo SUS304, didan itọju ogiri iyẹwu igbale kan, ogiri ita ti n sokiri polishing awọn ilẹkẹ ṣiṣe.
- 2) Lilo ohun ominira ẹnu àtọwọdá laarin awọn igbale iyẹwu - flapper àtọwọdá yato si, le fe ni ge ni pipa, stabilize awọn ilana gaasi.Ni bayi ile-iṣẹ gba apẹrẹ àtọwọdá flapper, o ṣe edidi dara julọ, ti o tọ diẹ sii ju àtọwọdá gbigbọn ti ile ti o wọpọ lọwọlọwọ.
- 3) Gbigbe nlo itọsọna oofa, daabobo iduroṣinṣin ti awakọ naa.Fun iyara kọọkan ti gbogbo laini iṣelọpọ nipa lilo awakọ ọkọ ayọkẹlẹ VVVF, iyara ṣiṣiṣẹ le ṣatunṣe.
- 4) Eto Iṣakoso ina: Iboju ifọwọkan ati iṣakoso adaṣe PLC, ibaraẹnisọrọ ẹrọ-ẹrọ lati ṣaṣeyọri eto ifihan data, awọn aye ṣiṣe ati imọ-ẹrọ iṣakoso
- 1) Gbẹhin igbale titẹ: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) iwọn iṣelọpọ apapọ: ni ibamu si ọja ti a pinnu
- 3) Iwọn dimu sobusitireti: le ṣe adani ni ibamu si awọn ibeere ti
- 4) Aṣọkan fiimu: ± 3% imọ-ẹrọ aaye alagbeka to ti ni ilọsiwaju ti ni ilọsiwaju iṣamulo ibi-afẹde pupọ
- Apẹrẹ igbona ti a pin jẹ itunnu si iṣapeye ilana.
Kọ ifiranṣẹ rẹ nibi ki o si fi si wa
